最近，日本某公司和宇宙航空研究開發(fā)機構共同開發(fā)了用于國產火箭的高精度MEMS陀螺儀。該陀螺儀是用于監(jiān)測火箭及衛(wèi)星等航空、航天器航行位置的重要設備，新型MEMS陀螺儀精度比原有陀螺儀提高了一個數(shù)量級，達到了0.1°∕h。
在傳感器行業(yè)快速發(fā)展的今天，芬蘭VTI作為全球領先的加速度傳感器，陀螺儀生產商為傳感器發(fā)展提供了良好的發(fā)展機遇，芬蘭VTI公司成功研發(fā)并生 產了基于先進的3DMEMS技術的陀螺儀(角速率傳感器)?；赩TI公司20年MEMS的成功經驗，VTI的 MEMS陀螺儀產品，具有溫度漂移小，性能穩(wěn)定，性價比高以及抗沖擊力強等特點。目前，陀螺儀已廣泛應用于智能手機和數(shù)碼相機等民用電子產品。在航空、航 天器上則至少需要安裝一個陀螺儀，使用激光作為光源的光學式陀螺儀是現(xiàn)行的主流設備。但光學陀螺儀存在結構復雜、技術要求高、耗電量大、成本高等缺陷，而 MEMS陀螺儀由于精度較低，不滿足航空、航天器的需要。
日本對該公司精度最高的MEMS陀螺儀進行了改良，將溫度特性校正方式由模擬改為數(shù)字以提高校正精度，并改善了傳感頭的材料和結構。通過改進，陀螺 儀的組成部件減少了一半，同時減輕了重量。之前在H2A火箭上搭載的光學式陀螺儀由玻璃和激光器件構成，新型MEMS陀螺儀在精度不變的情況下，價格是光 學式陀螺儀的百分之一(約為幾十萬日元)。
