北京卓銳微技術(shù)有限公司推出ACT2100系列高精度MEMS加速度傳感器。該系列加速度傳感器采用先進(jìn)的SOI體硅工藝制造，并基于卓銳微技術(shù)第二代Cery2000高精度MEMS加速度傳感器專用接口芯片進(jìn)行信號調(diào)理。其應(yīng)用領(lǐng)域包括地震勘探和鉆探、慣性導(dǎo)航和制導(dǎo)、振動測量、傾斜測量等工業(yè)領(lǐng)域。在地震勘探領(lǐng)域中，通過使用加速度傳感器來替換傳統(tǒng)的速度傳感器，可以在低頻和高頻獲得更好的信噪比，從而有效提升成像質(zhì)量。
由于采用創(chuàng)新的設(shè)計(jì)理念以及MEMS-ASIC一體化設(shè)計(jì)方法，卓銳微技術(shù)的ACT2100-3加速度傳感器在提供±3g量程的同時(shí)，噪聲本底小于2ug/sqrt(Hz)，工作帶寬大于900Hz。其ACT2100-50系列更是擁有高達(dá)114dB的信噪比(100Hz帶寬)和3KHz的工作帶寬。目前卓銳微技術(shù)正在完善ACT2100系列的其它產(chǎn)品線，預(yù)計(jì)在2009年第四季度覆蓋包括3g/10g/50g/100g /400g等不同量程范圍。
ACT2100系列采用5V標(biāo)準(zhǔn)電壓供電，典型功耗為10mA，其差分輸出范圍為±4V，可驅(qū)動長達(dá)150米電纜。LCC48 的封裝使得ACT2100系列在承受機(jī)械沖擊以及環(huán)境溫度變化時(shí)保證良好的真空密封性。小型化封裝使得ACT2100可在空間/體積/重量受限的應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)高精度的加速度信號檢測。
